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晶元烘箱，半 導(dǎo)體烘箱適用于IC,PCB板、晶圓，可控硅，半導(dǎo)體，電阻、電容、電工、電子產(chǎn)品、家用電器、汽摩配件、化工涂料、各種電子元器件及其他相關(guān)產(chǎn)品零部件在高溫、低溫環(huán)境下貯存、運(yùn)輸、使用時(shí)的適應(yīng)性試驗(yàn)，考核其各項(xiàng)性能指標(biāo)?？蓡为?dú)做高溫、低溫；也可用于高溫、低溫的循環(huán)試驗(yàn)。

半導(dǎo)體高低溫試驗(yàn)箱，半 導(dǎo)體烘箱適用于IC,PCB板、晶圓，可控硅，半導(dǎo)體，電阻、電容、電工、電子產(chǎn)品、家用電器、汽摩配件、化工涂料、各種電子元器件及其他相關(guān)產(chǎn)品零部件在高溫、低溫環(huán)境下貯存、運(yùn)輸、使用時(shí)的適應(yīng)性試驗(yàn)，考核其各項(xiàng)性能指標(biāo)?？蓡为?dú)做高溫、低溫；也可用于高溫、低溫的循環(huán)試驗(yàn)。

微型高低溫箱，IC用高 低溫測(cè)試箱適用于IC,PCB板、晶圓，可控硅，半導(dǎo)體，電阻、電容、電工、電子產(chǎn)品、家用電器、汽摩配件、化工涂料、各種電子元器件及其他相關(guān)產(chǎn)品零部件在高溫、低溫環(huán)境下貯存、運(yùn)輸、使用時(shí)的適應(yīng)性試驗(yàn)，考核其各項(xiàng)性能指標(biāo)?？蓡为?dú)做高溫、低溫；也可用于高溫、低溫的循環(huán)試驗(yàn)。

無(wú)塵烘箱，無(wú)塵固化烤箱用于高精度硅上薄膜電阻制造過(guò)程中堅(jiān)膜工藝。也用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。

真空鍍膜機(jī)，脫模劑烤箱應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、電子行業(yè)，硅片、石英等納米壓印模板材料。

百級(jí)無(wú)塵烤箱，100級(jí)潔凈烤箱適用于IC可靠性試驗(yàn)，IC封裝，光刻膠固化，電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)產(chǎn)生的HMDS尾氣處理設(shè)備，HMDS廢氣凈化系統(tǒng)將HMDS涂到半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。從而產(chǎn)生的尾氣需要凈化處理后才可排放在大氣中。